真空泵系統(tǒng)的主泵選擇，主泵類型的確定

(1)根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。

(2)根據(jù)真空室進行工藝生產時所需要的工作壓力選主泵。應正確地選擇主泵的工作點，在其工作壓力范圍內，應能排除真空室內工藝過程中產生的全部氣體量。因此，真空室內的工作壓力一定要在主泵的*佳抽速壓力范圍之內。

(3)根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統(tǒng)抽到極限真空的時間有影響。當抽氣時間要求一定時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

(4)正確地組合真空泵，由于真空泵有選擇性地抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

(5)若真空系統(tǒng)嚴格要求無油時，則應該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

(6)選擇真空泵時，應該知道被抽氣體成分，針對被抽氣體成分選擇相應的泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆粒灰塵等，則應該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等。或在泵的進氣口管道上安裝輔助設備。

(7)根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護費用等經濟指標選擇主泵。

真空泵系統(tǒng)的主泵選擇