TAIKO螺桿式真空泵,是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵，它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣，真空度可達到１０-1Pa。實現(xiàn)了極限真空度的全球*低泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮,螺桿式真空泵的特點是可以高效地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒。螺桿式真空泵結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

檢查 、保 養(yǎng)
8.1 檢查、保養(yǎng)的一般項目
(1) 為了能夠盡早發(fā)現(xiàn)異常，防止事故的發(fā)生，并在發(fā)生問題時，用作判斷的依據(jù)，請充分實施好每**的檢查。實施項目請參照檢查、保養(yǎng)一覽表。
(2) 拆解保養(yǎng)需要每年實施一次，或每運行8000小時后實施一次，此時，請送至我公司或指定的業(yè)者來實施，返送前，請事先與您購買時的店鋪或我公司的營業(yè)所取得聯(lián)系。
(3) 關(guān)于特殊規(guī)格的產(chǎn)品，其檢查、保養(yǎng)時期及方**有所不同，請事先聯(lián)系咨詢我們。
(4) 其他詳細內(nèi)容請參照8.3、8.4項。
8.2 潤滑油脂的更換方法
(1) 油脂
a. 請根據(jù)交貨規(guī)格書來對油種（品牌）、給油口、排油口進行確認。
b. 每3～6個月應(yīng)停止泵，卸下給油口的塞子及油排放塞，使之完全排放干凈。
c. 緊閉好油排放塞子，自給油口給油至油量尺的紅色線之間，然后擰緊給油口的塞子。
(2) 含氟潤滑油
每年一次進行拆解保養(yǎng)時，會更換掉軸承，因此僅更換含氟潤滑油這樣的步驟是無需進行的。

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